Auger Electron Spectroscopy (AES) gir kvantitativ elementær og kjemisk tilstand informasjon fra overflater av faste materialer. Gjennomsnittlig analysedybde for en aes-måling er omtrent 5 nm. Fysisk Elektronikk Auger instrumenter gir muligheten til å oppnå spektra med en lateral romlig oppløsning så liten som 8 nm. Romlig distribusjonsinformasjon oppnås ved å skanne mikrofokusert elektronstråle over prøveoverflaten. Dybdefordelingsinformasjon oppnås ved å kombinere aes-målinger med ionfresing (sputtering) for å karakterisere en tynnfilmstruktur. Informasjonen AES gir om overflatelag eller tynnfilmstrukturer er viktig for mange industrielle og forskningsapplikasjoner der overflate – eller tynnfilmsammensetning spiller en kritisk rolle i ytelse, inkludert: nanomaterialer, fotovoltaikk, katalyse, korrosjon, vedheft, halvlederinnretninger og emballasje, magnetiske medier, skjermteknologi og tynnfilmbelegg som brukes til mange applikasjoner.
AES oppnås ved å spenne en prøves overflate med en finfokusert elektronstråle som forårsaker At Auger-elektroner sendes ut fra overflaten. En elektronenergianalysator brukes til å måle energien til De utstrålede Auger-elektronene. Fra kinetisk energi og intensitet Av En Auger topp, kan den elementære identiteten og mengden av et detektert element bestemmes. I noen tilfeller er informasjon om kjemisk tilstand tilgjengelig fra den målte toppposisjonen og observerte toppformen.
Fysisk Elektronikk aes-instrumenter fungerer på en måte som er analog MED SEM / EDS-instrumenter som bruker en finfokusert elektronstråle for å lage SEM-bilder for prøvevisning og punktspektra eller bilder for komposisjonsanalyse. I motsetning TIL SEM/EDS som har en typisk analysedybde på 1-3 µ, ER AES en overflateanalyseteknikk med en typisk analysedybde på mindre enn 5 nm og er derfor bedre egnet for sammensetningsanalyse av ultratynne lag og nanoskala prøvefunksjoner.