Auger Electron Spectroscopy (AES) provides quantitative elemental and chemical state information from surfaces of solid materials. A profundidade média da análise para uma medição da EA é de aproximadamente 5 nm. Instrumentos eletrônicos físicos Auger fornecem a capacidade de obter espectros com uma resolução espacial lateral tão pequena quanto 8 nm. A informação de distribuição espacial é obtida por varrimento do feixe de electrões com micro-foco através da superfície da amostra. A informação relativa à distribuição de profundidade é obtida através da combinação das medições AES com a fresagem iónica (sputtering) para caracterizar uma estrutura de película fina. A informação AES fornece sobre camadas de superfície ou estruturas de película fina é importante para muitas aplicações industriais e de investigação em que a composição de película fina ou de superfície desempenha um papel crítico no desempenho, incluindo: nanomateriais, fotovoltaicos, catálise, corrosão, aderência, dispositivos semicondutores e embalagens, meios magnéticos, tecnologia de visualização e revestimentos de película fina utilizados para inúmeras aplicações.
AES é realizada excitando a superfície de uma amostra com um feixe de elétrons finamente focados, o que faz com que elétrons de Auger sejam emitidos a partir da superfície. Um analisador de energia eletrônica é usado para medir a energia dos elétrons Auger emitidos. A partir da energia cinética e intensidade de um pico de Auger, a identidade elementar e a quantidade de um elemento detectado podem ser determinadas. Em alguns casos, a informação sobre o estado químico está disponível a partir da posição de pico medida e da forma de pico observada.
Physical Electronics AES instruments function in a manner analogous to SEM / EDS instruments that use a finely focused electron beam to create SEM images for sample viewing and point spectra or images for composicional analysis. Em contraste com SEM/EDS, que tem uma típica análise de profundidade de 1-3 µm, AES é uma técnica de análise de superfície com uma típica análise de profundidade de menos de 5 nm e, portanto, é mais adequado para a análise da composição de ultra-finas camadas e nanoescala exemplo de recursos.